白光干涉儀是一種新型的表面形貌測(cè)量方法，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)樣品表面形貌的三維測(cè)量。它通過掃描定位被測(cè)樣品表面各點(diǎn)的較佳干涉位置得到表面各點(diǎn)相對(duì)高度，重構(gòu)表面三維輪廓，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面三維形貌的測(cè)量。
白光干涉儀的原理：
用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌。
專用于非接觸式快速測(cè)量，精密零部件之重點(diǎn)部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸，其測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)！目前，在3D測(cè)量領(lǐng)域，是精度最高的測(cè)量?jī)x器之一。
白光干涉儀由以下及部分構(gòu)成：
光學(xué)照明系統(tǒng)，采用鹵素光源。光學(xué)成像系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)，由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統(tǒng)由壓電陶瓷以及控制驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成，采用閉環(huán)反饋控制方法，可精密驅(qū)動(dòng)顯微物鏡上下移動(dòng)。
信號(hào)處理系統(tǒng)信號(hào)處理系統(tǒng)是該儀器的核心部分，由計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器構(gòu)成。
利用計(jì)算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)。然后使用專用的數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。應(yīng)用軟件應(yīng)用軟件主要由操作控制部分，結(jié)果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測(cè)量?jī)x器。
同時(shí)，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實(shí)時(shí)測(cè)量結(jié)果。并可對(duì)測(cè)量結(jié)果作進(jìn)一步的修正處理。
